单晶金刚石用作超精密加工的优势：
1、有较高的硬度和耐磨性，在超精密加工时可以最大限度避免刀尖磨损对工件尺寸的影响。
2、有很好的导热性，较低的热膨胀系数。因此，切削加工时不会产生很大的热变形，有利于精密加工。
3、刃面粗糙度较小，刃口非常锋利，可达Ra0.01~0.006μm。因此，能胜任薄层切削，有利于超精密加工。
4、摩擦系数低，切削时不宜产生积屑瘤，因此加工表面质量很高。加工有色金属表面粗糙度可小达Ra0.04~0.012μm，加工精度可达IT5以上。
注意： 金刚石刀具不适合加工钢铁材料，因为金刚石和铁有很强的化学亲和力，在高温下铁原子极易与碳原子作用而使其转化为石墨结构，刀具极易损坏。用作铝硅合金的精加工及超精加工，压缩木材、陶瓷、刚玉、玻璃等的精加工都是不错的选择。
单晶金刚石刀具的刃磨特点
超精密加工中，单晶金刚石刀具的两个基本精度是刀刃轮廓精度和刃口的钝圆半径。要求加工非球面透镜用的圆弧刀具刃口的圆度为0.05μm以下，加工多面体反射镜用的刀刃直线度为0.02μm；刀具刃口的钝圆半径(p值)表示了刀具刃口的锋利程度，为了适应各种加工要求，刀刃刃口半径范围20nm~1μm。
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