2021-09-15
蓝宝石|研抛磨粒对超精密表面加工的影响
研磨和抛光是经典的超精密加工技术,被广泛应用于脆性难加工半导体衬底材料的超光滑无损伤加工,比如硅、氮化镓和蓝宝石等材料的加工。通过研磨和抛光可以有效去除前道工序造成的加工损伤,并获得超光滑无损伤的工件表面。研抛磨粒作为研抛工艺的核心辅助材料之一,研抛磨粒选择的恰当与否直接影响到研抛效率和研抛质量的高低。
本文从研抛磨粒的组成方式和结构特点等角度出发,总结了研抛磨粒对加工结果的影响,以及新型研抛磨粒的研究进展,为研抛磨粒的科学选择和应用提供参考。